arf和krf是光刻技术中使用到的深紫外光源,目前主流厂商采用的全部都是krf。
as和台积电合作,在林本坚的带领下,最早开始大规模往arf方向投入,这也是后续as实现技术垄断的关键因素之一。
说到这里就多说两句,大家都知道光刻机是半导体制程中的关键设备,用于将设计图案转移到晶圆上。
但是具体光刻机是怎么作业的,很多人并不是那么清楚。简单来说先在晶圆表面涂上一层光敏性的光刻胶,这种光刻胶会在紫外光照射下发生化学反应,然后改变它的溶解性。
国内光刻机被卡脖子,光刻胶同样被卡脖子。
然后使用光掩膜,一个上面有着细微图案的透明载体,细微图案代表了集成电路中的不同元件和互连。光掩膜被放置在光刻机的光源和硅晶圆之间。
光刻机中的光源krf或者arf照射到光掩膜上。
光通过图案的开放区域,被阻挡的部分与图案相对应。
然后,光通过投影光学系统,该系统将图案缩放并聚焦到硅晶圆上涂有光刻胶的表面。
经过曝光后,光刻胶中的光敏材料发生化学变化。
在阳性光刻胶中,曝光区域变得更容易溶解;在阴性光刻胶中,曝光区域变得更不容易溶解。
将硅晶圆浸入显影液中,溶解掉光刻胶中发生化学变化的区域。这样,光掩膜上的图案就被准确地转移到硅晶圆表面的光刻胶上。
光刻胶图案形成后,通过刻蚀、掺杂或金属沉积步骤将逐层构建出完整的芯片。
在没有线上百科,不对,现在已经有quora百科了,总之能够准确说出arf和krf证明周新在光刻机领域还是有比较深入研究的。
毕竟很多光刻机领域的从业人员都不知道还有arf这条技术路线。
林本坚说:“arf的波长是193n,而krf光源的波长是248n,较短的波长有助于实现更高的分辨率和更精细的图案。”
周新问:“但是arf他在具体处理更小的制程节点的时候,会出现更多的线性波动和不规则性。
虽然arf波长更短,但是它的不可控性更高。
这对于工业化生产来说是大忌。这才是为什么尼康也好,as也好,在尝试过arf之后,都不愿意继续朝着这个方向投入研发成本的最重要原因吧。”
周新话音刚落,林本坚脸色大变,周新知道arf和krf,这他能理解。
因为这些都是发表在公开期刊上的内容,但凡对光刻机感兴趣的人,都有机会阅读到。
但是周新能够准确说出不往arf方向投入的原因,即便从业人员,都没有办法知道的内容。
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“沈兄”
“嗯”
沈长青走在路上,有遇到相熟的人,彼此都会打个招呼,或是点头。
但不管是谁。
每个人脸上都没有多余的表情,仿佛对什么都很是淡漠。
对此。
沈长青已是习以为常。
因为这里是镇魔司,乃是维护大秦稳定的一个机构,主要的职责就是斩杀妖魔诡怪,当然也有一些别的副业。
可以说。
镇魔司中,每一个人手上都沾染了许多的鲜血。
当一个人见惯了生死,那么对很多事情,都会变得淡漠。
刚开始来到这个世界的时候,沈长青有些不适应,可久而久之也就习惯了。
镇魔司很大。
能够留在镇魔司的人,都是实力强横的高手,或者是有成为高手潜质的人。
沈长青属于后者。
其中镇魔司一共分为两个职业,一为镇守使,一为除魔使。
任何一人进入镇魔司,都是从最低层次的除魔使开始,
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然后一步步晋升,最终有望成为镇守使。
沈长青的前身,就是镇魔司中的一个见习除魔使,也是除魔使中最低级的那种。
拥有前身的记忆。
他对于镇魔司的环境,也是非常的熟悉。
没有用太长时间,沈长青就在一处阁楼面前停下。
跟镇魔司其他充满肃杀的地方不同,此处阁楼好像是鹤立鸡群一般,在满是血腥的镇魔司中,呈现出不一样的宁静。
此时阁楼大门敞开,偶尔有人进出。
沈长青仅仅是迟疑了一下,就跨步走了进去。
进入阁楼。
环境便是徒然一变。
一阵墨香夹杂着微弱的血腥味道扑面而来,让他眉头本能的一皱,但又很快舒展。
镇魔司每个人身上那种血腥的味道,几乎是没有办法清洗干净。
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